09:00 〜 10:40 [23a-P07-2] DC及びRFスパッタリングによる短波近赤外線フィルター用a-Si:Hの光学特性の基板電位依存性 〇川又 由雄1、伊藤 浩1、新國 広幸1、伊藤 未希雄1 (1.東京高専)