15:30 〜 15:45 △ [13p-N101-10] インバージョンドメインの抑制による高品質AlN成長手法の確立 〇(M2)津田 翔太1、宮川 拓己1、富田 敦之1、平山 秀樹2,3、高島 祐介1,2、直井 美貴1,2、永松 謙太郎1,2 (1.徳島大理工、2.徳島大pLED研、3.理研)