13:15 〜 13:30 [13p-N301-2] 水酸化カリウムウェットエッチングによるSICM探針の性能改善 〇矢島 陸1、渡辺 信嗣2 (1.金沢大院ナノ生命、2.金沢大WPI-NanoLSI)