14:45 〜 15:00 [12p-N323-7] ミニマルSODコーターを用いたミニマル液体ドーパント・プロセスの検討 〇中道 修平1、加瀬 雅2、佐藤 和重1、田中 宏幸2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)