[10a-N321-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[10a-N321-1] フェムト秒レーザー直描LN導波路の構造および光学特性評価

〇井上 飛鳥¹、藤原 裕士¹、渡辺 啓¹ (1.NTT先デ研)

キーワード：フェムト秒レーザー描画、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸リチウム導波路

フェムト秒レーザー描画により形成されたニオブ酸リチウム（LN）導波路は、光導波路の三次元化が可能なことから注目を集めている。先行研究では、レーザー照射条件とLNの結晶構造変化に関する関係性が明らかにならないまま、導波路設計および形成が行われてきた。本研究では、フェムト秒レーザー描画によりLN導波路構造を形成し、導波路の断面構造をラマン分光法を用いて詳細に解析することに成功したので報告する。