[10a-N321-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[10a-N321-3] 【注目講演】GHzバーストモードフェムト秒レーザーパルスによる銅アブレーション加工中に発生するプラズマ遮蔽の影響

〇小幡 孝太郎¹、川端 祥太^1,2、カバジェロ ルカス フランセスク¹、花田 修賢³、宮地 悟代²、杉岡 幸次¹ (1.理研 光量子、2.東京農工大、3.弘前大理工)

キーワード：GHzバーストモード、フェムト秒レーザー、アブレーション

GHzバーストモードによる銅のアブレーションでは、アブレーション加工効率がシングルモードよりも低下するが、その理由の一つとしてプラズマ遮蔽の影響が考えられる。本研究では、プラズマとレーザー光の相互作用を利用して透明材料のアブレーションを誘起するレーザー生成プラズマ支援アブレーション（LIPAA）を実行することにより、プラズマ遮蔽の影響を検証することを試みた。