The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021

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Oral presentation

CS Code-sharing session » 【CS.1】 Code-sharing Session of 2.3 & 7.5

[10a-N402-1~9] CS.1 Code-sharing Session of 2.3 & 7.5

Fri. Sep 10, 2021 9:00 AM - 11:30 AM N402 (Oral)

Noriaki Toyoda(Univ. of Hyogo), Satoshi Ninomiya(Univ. of Yamanashi)

9:00 AM - 9:15 AM

[10a-N402-1] Cu oxide film formation and appraisal by O2 neutral cluster beam irradiation

〇(M2)Takaki Ota1, Masaya Takeuchi1, Noriaki Toyoda1 (1.Univ. of Hyogo)

Keywords:cluster beam

中性クラスタービームによる金属ALEに必要な酸化膜形成プロセスについて、形成した酸化膜の評価を行った。スパッタCu膜にO2中性クラスタービームを照射し、酸化膜を形成。クラスタービームを直接照射しない雰囲気酸化膜との比較を行った。