[10a-N402-1~9] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[10a-N402-7] 内径の異なるキャピラリーから得られる真空エレクトロスプレー液滴イオンビームによるスパッタ体積

〇川瀬 幹大¹、二宮 啓¹、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三¹ (1.山梨大工)

キーワード：クラスターイオンビーム、二次イオン質量分析

我々は二次イオン質量分析におけるイオン化の効率を大幅に向上させることを目的として、エレクトロスプレーによって発生させた帯電液滴を巨大クラスタービームとして利用するための研究を行っている。本研究ではエレクトロスプレー発生源のキャピラリーの内径を変化させ、真空エレクトロスプレー液滴イオンビームを平坦な有機薄膜に照射し、その表面を走査型プローブ顕微鏡で観測した画像から帯電液滴のサイズ分布やその帯電液滴によるスパッタ体積の評価を行った結果について報告する。