[10a-N403-1~12] 9.1 誘電材料・誘電体

[10a-N403-1] 溶液法IGZO-TFTのドレイン電流にオゾンガスが与える影響

〇(M1)笹島 宏青¹、森本 貴明¹、石井 啓介¹ (1.防衛大)

キーワード：IGZO、オゾン、溶液法

溶液法を用い、スピンコート回転数を変えつつ作製されたIGZO-TFTを用いてオゾンセンサーの作製を試みた。TFTがオン状態の時とオフ状態の時のドレイン電流(ID)の比は、スピンコート回転数2000 rpmのとき最大だった。そのTFTにVG = +40 Vを印加することでオン状態を保ち、オゾン暴露しつつIDの時間変化を測定すると、暴露時間増加に伴いIDが減少することから、IGZO-TFTによるオゾン検出が可能であることが示された。