[10a-S301-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [10a-S301-2] エッチング装置で生成したアルゴン低気圧誘導結合プラズマの発光分光計測による電子温度・電子密度・電子エネルギー分布関数診断

〇山下 雄也¹、秋葉 拓也¹、岩永 敏秀¹、伊達 修一¹、山岡 英彦¹、赤塚 洋² (1.都立産業技術研究センター、2.東工大研究院)

キーワード：衝突輻射モデル、プロセスプラズマ、その場計測

エッチング装置で生成したアルゴン低気圧誘導結合プラズマの電子温度T_e，電子密度N_eおよび電子エネルギー分布関数(EEDF)を，発光分光計測により診断した．診断誤差を低減するため，励起準位数密度分布に対するT_e，N_e, EEDFの依存性を分析し，この結果に基づいて診断に用いる励起準位を選定した．上準位4p[1/2]₁，4p’[3/2]₁，4p[1/2]₀，4p’[1/2]₀の発光線に基づいて算出した励起準位数密度分布を，衝突輻射モデルから求めた理論値とフィッテングして診断を行った．