[10a-S301-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [10a-S301-6] 螺旋状窒素プラズマ中の窒素原子密度計測

〇(M2)西尾 亮佑¹、梶田 信²、大野 哲靖¹、田中 宏彦¹、浅岡 晃次¹、堤 隆嘉³、堀 勝³ (1.名大院工、2.名大未来研、3.名大低温プラズマ科学研)

キーワード：プラズマ、窒素原子

窒素原子はNO_x除去や材料窒化など、様々な用途での使用が期待されており、高窒素原子密度環境が求められている。本研究では、長い磁力線長を有する螺旋状プラズマ生成装置NAGDIS-Tを使用し、解離性再結合反応による高密度の窒素原子生成を目指す。真空紫外吸収分光法およびアクチノメトリー法を用いて、本装置内の窒素原子密度を測定した。