[10p-N103-1~16] 3.13 半導体光デバイス

[10p-N103-12] 電極厚さがレーザ受光用光電変換素子の特性に及ぼす影響の調査

〇櫛山 爽¹、西岡 賢祐¹、荒井 昌和¹ (1.宮崎大工)

キーワード：光無線給電

光無線給電の効率向上にはレーザ受光に特化した構造最適化が必要である。特にデバイス面内に不均一な強度分布を持つレーザの受光に際しては電極の横方向の電気抵抗（直列抵抗）の低減が重要と考えられる。今回、電極の厚さを200, 500, 800 nmと変えた3種類のGaAs光電変換素子を作製して、レーザ受光時の特性の違いを評価したところ、フィルファクタに顕著な差が見られた。フィルファクタは厚さ800 nmの際が最大となり、71.4%を実現した。