[10p-N104-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[10p-N104-11] シリコンナノ結晶/酸化シリコン複合膜におけるキャリア選択能の水素プラズマ処理温度依存性

〇松見 優志¹、後藤 和泰¹、ビルデ マーカス²、黒川 康良¹、福谷 克之²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.東大生研)

キーワード：新規保護膜、水素プラズマ処理、キャリア選択能