[10p-N202-1~19] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[10p-N202-14] 液浸ラマン分光法で観測されるGOI極薄膜ラマンスペクトルのブロードピークと歪の関係に関する考察

〇横川 凌^1,2、Chia-Tsong Chen³、Kasidit Toprasertpong³、竹中 充³、高木 信一³、小椋 厚志^1,2 (1.明治大理工、2.明大MREL、3.東大院工)

キーワード：GOI、液浸ラマン分光法、歪

歪GOI極薄膜は次世代CMOS等の材料として注目されており、キャリア移動度の観点から歪状態を把握することは重要である。歪評価手法の一つとしてラマン分光法が挙げられ、GOI薄膜化に伴い、特徴的なブロードピークが出現することについて近年報告されている。しかし歪との関係は不明瞭であるため、本研究では酸化濃縮法で作製された歪GOI極薄膜を準備し、ブロードピークと歪状態との関係を詳細に検討したので報告する。