[10p-N204-1~17] 6.5 表面物理・真空

[10p-N204-16] 低速原子散乱分光法によるCoO(111)表面構造解析

〇譚 ゴオン¹、福田 浩昭¹、松田 晃史²、吉本 護²、梅澤 憲司¹ (1.大阪府大、2.東工大)

キーワード：低速原子散乱分光法、表面構造解析、CoO(111)単結晶基板

従来、電子線やイオンビームなどの荷電粒子線を用いた表面解析は、チャージアップのため絶縁体の表面を測定することは困難であった。そこで本研究は、電気的に中性で100 kHzにパルス化された3 keV-⁴He⁰を入射プローブとする低速原子散乱装置を利用することで、絶縁体である酸化コバルトの表面を観察した。本研究の目的は、CoO(111)最表面原子層及び表面構造と内部構造の違いを明らかにすることにある。