[10p-N221-1~6] 15.1 バルク結晶成長

[10p-N221-2] [分科内招待講演] 時空間分割X線光電子分光による界面反応場の計測解析技術開発

〇豊田 智史¹ (1.東北大NIChe)

キーワード：X線光電子分光、界面反応、時空間計測

時空間分割X線光電子分光計測技術の将来的な発展を見越し、バルク結晶中などの界面反応場を解析するためのソフトウェア技術を開発した。様々な元素種で構成される多層積層膜界面における界面酸化/還元と表面電極エッチング/成長過程が同時に起きている状況をシミュレーションにより検証するとともに、機械学習の分野で知られるベイズ最適化を実装し、次の実験条件を多次元パラメータ空間上で推定できるようにした。