[10p-N304-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [10p-N304-3] バイオテンプレート極限加工により作製されたナノピラー構造における撥水性の制御

〇(M2)竹内 聡¹、大堀 大介¹、石田 昌久²、田中 麻美²、遠藤 和彦³、寒川 誠二^1,4 (1.東北大流体研、2.長瀬産業、3.産総研、4.東北大AIMR)

キーワード：撥水性、シリコンナノピラー構造、中性粒子ビームエッチング

濡れ性は材料の表面特性を考慮するための重要なパラメータの1つであり様々な産業への応用を目指して広く研究開発されている。固体表面の濡れ性は固体表面の材質と水滴に依存するが、固体表面に微細なピラー構造を作製することで表面の濡れ特性が変化することが知られている。本研究では独自技術を用いてナノレベルで大きさと間隔を制御したナノピラー構造を作製し表面状態や形状の違いによる濡れ性の影響を明らかにした。