[10p-N403-1~17] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[10p-N403-1] [講演奨励賞受賞記念講演] Auナノシートを用いた小型・低エネルギー硫化水素センサ

〇加藤 太朗¹、田中 貴久¹、内田 建¹ (1.東大工)

キーワード：ナノシート、ガスセンサ、硫化水素

硫化水素は下水処理場や食品倉庫など様々な場所に存在し，毒性が高いため選択的に5ppm未満を正しく高速に検知する必要がある．我々は，Auナノシートを用いた硫化水素センサを実証してきた．今回，低消費電力化に向けて，ジュール加熱による昇温動作で硫化水素の低濃度検知を行った．結果，幅5μm程度に微細化したAuナノシートについて，ジュール加熱で昇温し，動作速度や回復などの性能向上が可能なことが示された．