[10p-N403-1~17] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

△ [10p-N403-6] ZnOナノロッドのガス応答機構の検討

〇愼改 豪¹、古賀 佳菜子¹、バップル マティアス²、川浪 弘貴¹、中村 有水¹、猪股 雄介¹、バルサン ニコライ²、木田 徹也¹ (1.熊本大学、2.チュービンゲン大学)

キーワード：半導体ガスセンサ、ZnOナノロッド、ガス応答機構

水熱法を用いて合成したZnOナノロッドは，水蒸気存在下においても数ppmのアセトン及びエタノールに対して非常に高い応答，選択性を示した．ナノロッド表面に界面の存在が確認されなかったことから，ZnOナノロッド固有の結晶面に関するガス応答特性を調査した．ミストCVD法によって合成したm面(10-10)ZnO単結晶が，ZnOナノロッドと類似した応答挙動を示したことから，ZnOナノロッドにおける高いVOC感度は、m面特有の特性であることが示唆された．