[10p-S203-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-S203-19] ディップ蒸発法によって作製した酸化アルミニウム透明薄膜

〇チン バイシェ¹、市村 正也¹ (1.名工大工)

キーワード：酸化アルミニウ、ディップ蒸発法

本研究では、溶液に基板を浸漬して少量の溶液をつけてから加熱することで、安易かつ大面積の堆積が可能なディップ蒸発堆積法によるAlO_x堆積を行い、その後、厚さと透過率測定をはじめとした薄膜の評価を行った。その結果、AlO_x薄膜は均一な厚さを持つ透明な膜である事がわかった。