[10p-S203-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-S203-8] PLD法による酸硫化物光触媒材料Y₂Ti₂O₅S₂の薄膜化

〇中村 圭吾¹、深谷 直人¹、高松 大郊¹、高橋 宏昌¹、籔内 真¹、早川 純¹ (1.日立製作所)

キーワード：光触媒、酸硫化物、光電極デバイス

太陽光を利用した光触媒反応で水分解を高効率に行うためには，可視光で応答する光触媒が必要である．そこで我々は可視光応答性光触媒であるY₂Ti₂O₅S₂酸硫化物に注目し，Y₂Ti₂O₅S₂を基板上に薄膜化する事によって光電極デバイスを作成し，安定かつ高効率な水分解の実現を目指している． 本研究では，第一原理計算によりY₂Ti₂O₅S₂の電子状態解析を行うとともにPLD法によってY₂Ti₂O₅S₂薄膜を作製し，そのO，S量の制御について検討を行った．