[11a-N101-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-N101-4] ストライプ状溝加工AlNテンプレート上へのHVPE法によるAlN成長

〇岡 駿斗¹、奥灘 瑠斗¹、肖 世玉²、正直 花奈子¹、上杉 謙次郎^2,3、窪谷 茂幸²、中村 孝夫^3,4、三宅 秀人^1,3 (1.三重大 院工、2.三重大 地創戦略企、3.三重大 院地域イノベ、4.東大生研)

キーワード：AlN、HVPE、パターンテンプレート