[11a-N323-1~9] 12.2 評価・基礎物性

[11a-N323-2] 回転型Kelvin Probe装置による極性有機蒸着膜のリアルタイム表面電位測定

〇(M2)大原 正裕¹、田中 有弥^1,2、石井 久夫^1,2,3 (1.千葉大院融合、2.千葉大先進、3.千葉大 MCRC)

キーワード：有機半導体、Kelvin Probe、巨大表面電位

表面電位の膜厚依存性を測定する際や、光照射などの外乱に対する起電力の応答などを測定する際に表面電位をリアルタイムで測定する技術は不可欠である。
我々は昨年秋の講演会で、噴霧塗布によって基板に有機膜が堆積した際の表面電位変化をリアルタイムで測定する「回転型Kelvin Probe(KP)装置」の開発について報告した。
本研究ではこれを真空槽内に導入し、蒸着による膜の堆積を行いながら表面電位を測定できる装置を開発した。
この装置を用い、従来法では非常に多くの手間と時間がかかっていた有機アモルファス膜の自発配向分極(SOP)による表面電位変化を、膜厚を変化させながら連続的に測定することに成功した。