[11a-S203-1~9] 3.9 テラヘルツ全般

△ [11a-S203-1] 光加工プロセスにおけるテラヘルツ放射のシングルショット計測

〇笠井 達基¹、玉置 亮^1,2、浅井 岳³、秦 大樹³、久保 肇³、片山 郁文¹ (1.横浜国大、2.KISTEC、3.ニコン)

キーワード：テラヘルツ、レーザーアブレーション

我々は、微弱なテラヘルツ波を高感度にシングルショット波形計測する手法を開発してきた。この検出法は、不可逆な過程で発生するピコ秒オーダーの電磁波（テラヘルツ波）を計測できる為、レーザー加工のピコ秒ダイナミクスの解明に有効であると考えられる。
本講演では、金属をレーザー加工した際に放射されるテラヘルツ波の波形や強度がポンプパルス数によって変化することを見出したので報告する。