[11p-N101-1~12] 【一般公開】赤﨑勇先生追悼シンポジウム

[11p-N101-6] 赤﨑先生の助手時代-半導体結晶成長の黎明期-

〇西永 頌^1,2 (1.東大、2.豊技大)

キーワード：半導体、結晶成長、エピタキシャル成長

赤﨑勇先生の助手時代の思い出について述べた。当時は半導体結晶成長の黎明期であり、特にゲルマニウムのエピタキシャル成長研究が始まった時であった。赤﨑先生は、成長速度や不純物ドーピング濃度を熱力学を用いて解析されたが、この研究は気相成長に対する熱力学解析の先駆けとなった。