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△ [11p-N107-11] 混合ガウスモデルを用いた浮遊帯域溶融法における融液状態のダイナミクス推定
キーワード:混合ガウスモデル、結晶成長、システム同定
材料製造プロセスの中には、人が時系列変化する状態を確認し、それに合わせて制御を行うものがあり、このようなプロセスを自動化することはしばしば困難である。プロセスのダイナミクス(入力に対して状態がどのように変化するか)を推定することができれば、強化学習等により最適な操業軌道を推定でき、ロボットの歩行制御と同様に、自動操業が可能になると考えられる。しかし、一般的には操業データを大量に収集することは困難であり、少数のデータからダイナミクスを推定する必要がある。そこで本研究では、製造プロセスにおける操業データは類似の時系列変化を示す場合が多いことに着目し、混合ガウスモデルを用いて、浮遊帯域溶融(FZ)法における結晶成長のダイナミクスを推定した。