[11p-N205-1~12] CS.5 3.11 フォトニック構造・現象、3.12 ナノ領域光科学･近接場光学のコードシェアセッション

[11p-N205-2] 高アスペクト比窒化チタン構造の光熱変換と異方性熱伝導

〇石井 智^1,2,3、東野 真⁴、呉屋 伸也⁴、シュコンディン エフゲニ⁵、田中 勝久⁴、長尾 忠昭^1,6、高山 修⁵、村井 俊介⁴ (1.物材機構、2.筑波大、3.JSTさきがけ、4.京大、5.DTU、6.北大)

キーワード：光熱変換、窒化チタン、熱伝導

周期が400 nmでアスペクト比が約10のTiNチューブとTiNトレンチをシリコンモールドを用いた原子層堆積法により作製し、顕微ラマン分光から光熱変換による昇温を評価した。実験結果はナノ構造部分に実効的な熱伝導率を用いた伝熱解析と一致しており、TiNチューブの昇温が最も高い。TiNチューブの実効的な熱伝導率のうち水平成分が極端に小さく、そのことが高い昇温効率に繋がったと考えられる。