2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

12 有機分子・バイオエレクトロニクス » 12.2 評価・基礎物性

[11p-N323-1~13] 12.2 評価・基礎物性

2021年9月11日(土) 13:30 〜 17:30 N323 (口頭)

山田 豊和(千葉大)、山田 亮(阪大)、藤井 彰彦(阪大)

17:00 〜 17:15

[11p-N323-12] 液中AFMよる半導体ウェーハ洗浄用PVAブラシ表面の吸着力及び膨潤度の定量的評価

浅野 吉彦1、五十嵐 陽彦1、宮田 一輝1、宮澤 佳甫1、宇野 恵2、高東 智佳子2、福間 剛士1 (1.金大、2.荏原製作所)

キーワード:原子間力顕微鏡、PVA