PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 1 コメント (0) 17:00 〜 17:15 [11p-N323-12] 液中AFMよる半導体ウェーハ洗浄用PVAブラシ表面の吸着力及び膨潤度の定量的評価 〇浅野 吉彦1、五十嵐 陽彦1、宮田 一輝1、宮澤 佳甫1、宇野 恵2、高東 智佳子2、福間 剛士1 (1.金大、2.荏原製作所) キーワード:原子間力顕微鏡、PVA