[11p-S201-1~8] 薄膜・表面物理研究のトレンドと今後の展望 ～薄膜・表面物理分科会50周年記念シンポジウム～

[11p-S201-7] 同一視野での表面形状・物性計測の現状と今後の展望

〇繁野 雅次¹ (1.日立ハイテク)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、原子間力顕微鏡、電子顕微鏡

形状と物性を同一視野で観察することにより、個別に測定していた結果では気づく事が出来ない事象の発見や、より深い理解に役立つ事を経験することも多くなってきた。SPMによる形状計測と物性計測」、「SPMと電子顕微鏡」、「SPMと光学顕微鏡」、などによる、同一視野・複合測定の現状と、今後の展望について講演する。