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△ [11p-S401-14] 新規ランガサイト型圧電単結晶上のラブ波型SH波の共振特性
キーワード:新規ランガサイト型圧電単結晶、ラブ波型SH波、温度特性
新規ランガサイト型単結晶(CTGS)上にAlを用いたすだれ状電極(IDT)を形成した際に励振するラブ波型SH波における温度特性を含む共振特性を測定し,Au電極による特性と比較した. Al電極を用いた場合でも良好な共振特性が得られることが実験的に明らかになった.またAuにおいては膜厚によってゼロ周波数温度係数(TCF)が実現可能であることが実験的に明らかになり,AlにおいてはCTGSを155°付近のカット角にすることでゼロTCFが期待できる.