[11p-S401-1~18] 1.6 超音波

[11p-S401-7] 多種類のガス分析のための10cm可搬型ボールSAWガスクロマトグラフの開発

〇岩谷 隆光¹、赤尾 慎吾¹、山中 一司¹、岡野 達広¹、竹田 宣生¹、塚原 祐輔¹、大泉 透¹、福士 秀幸¹、菅原 真希¹、辻 俊宏¹、田中 智樹¹、武田 昭信¹、島 明日香²、松本 聡²、菅原 春菜²、星野 健²、坂下 哲也² (1.ボールウェーブ、2.宇宙航空研究開発機構)

キーワード：弾性表面波、ボールSAWセンサ、ガスクロマトグラフ

宇宙探査における月・惑星・小天体の表面その場分析や有人宇宙滞在環境測定などで、多種類の揮発性ガスを分析できる可搬型ガスクロマトグラフ(GC)が求められている。本研究は、球状素子の多重周回する弾性表面波(SAW)を利用したボールSAWセンサとステンレス板のエッチングと拡散接合により小型化したメタルMEMSカラムを用いて、サンプラーや濃縮器、カラム温度制御など既存の卓上GCと同等の機能を有する10 cm角762gの可搬型のボールSAW GCを開発した。