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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[12a-N301-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

2021年9月12日(日) 09:00 〜 12:00 N301 (口頭)

内田寛(上智大)、田岡紀之(名大)、川江健(金沢大)

10:00 〜 10:15

[12a-N301-5] 分極反転させたAlScN膜中の元素の化学結合状態のHAXPES評価

〇辻口良太¹、桐原芳治¹、角嶋邦之²、保井晃³、野平博司¹ (1.都市大工、2.東工大、3.高輝度光科学研究センター)

キーワード：AlScN　強誘電体　HAXPES