[12a-N301-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

△ [12a-N301-9] パルスレーザー堆積法によるK(Ta, Nb)O₃薄膜の作製とその電気光学特性評価

〇(M2)櫻井 裕次¹、山田 智明¹、近藤 真矢²、吉野 正人¹、長﨑 正雅¹ (1.名大工、2.岡大院)

キーワード：強誘電体、電気光学効果

K(Ta, Nb)O₃ (KTN)はバルク単結晶にて巨大な2次の電気光学(EO)効果を示すことが知られているが、高品質な薄膜の作製が難しいため、薄膜におけるEO特性についてはほとんど知られていない。本研究では、パルスレーザー堆積法にてKTN薄膜を作製し、得られたKTN薄膜のEO特性を明らかにした。