[12a-N403-1~7] 11.4 アナログ応用および関連技術

[12a-N403-3] ヘリウムイオン顕微鏡技術による銅酸化物高温超伝導体YBCO薄膜の物性制御

〇三澤 哲郎¹、井上 陸^1,3、石田 茂之¹、小川 真一¹、森田 行則¹、永崎 洋¹、内田 慎一^1,2、西尾 太一郎³、浦野 千春¹ (1.産総研、2.東大、3.東理大)

キーワード：高温超伝導体、ジョセフソン接合、ヘリウムイオン顕微鏡

ジョセフソン接合は量子電圧標準技術として重要である。超伝導体としてNbやNbNを用いたジョセフソン接合の作製技術は確立しているが、高いT_cを持つ銅酸化物高温超伝導体によるジョセフソン接合形成は、コヒーレンス長が数ナノメートル程度と短く高品質なトンネル障壁層の作製が難しいため確立していない。本論文では、YBCOジョセフソン素子の作製へ向け、HIM技術によるYBCO薄膜の物性制御に取り組んだ結果について述べる。