2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[12a-S203-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2021年9月12日(日) 09:00 〜 11:30 S203 (口頭)

山田 浩之(産総研)

09:30 〜 09:45

[12a-S203-3] SrTiO3/TiO2ヘテロ構造ナノロッドアレイにおけるTiO2結晶構造の影響

木村 考岐1、蜂谷 寛1、佐川 尚1 (1.京大エネ)

キーワード:ヘテロ構造、ナノロッドアレイ、チタン酸ストロンチウム

SrTiO3/TiO2ヘテロ構造ナノロッドアレイはルチル型酸化チタンナノロッドアレイを前駆体として作製されるが、化学的安定性の高いルチル構造はSrTiO3の生成に不利であると考える。本研究では、アナターゼ型の酸化チタンナノロッドアレイを前駆体として用いて、より温和な条件でSrTiO3/TiO2ヘテロ構造ナノロッドの作製を試みた。