[12p-N206-1~19] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [12p-N206-11] 多光子励起フォトルミネッセンス法によるβ-Ga₂O₃結晶の三次元イメージング

〇西河 巴賀¹、塚越 真悠子¹、後藤 健²、村上 尚²、熊谷 義直²、谷川 智之¹、上向井 正裕¹、片山 竜二¹ (1.阪大院工、2.農工大)

キーワード：酸化ガリウム、多光子励起フォトルミネッセンス、非破壊評価技術