[12p-N301-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

[12p-N301-15] 化学溶液堆積法により作製したZrO₂を基とするHfO₂-ZrO₂薄膜の評価

〇岡元 良平¹、船窪 浩²、内田 寛¹ (1.上智大、2.東工大)

キーワード：強誘電体薄膜、酸化ハフニウム、化学溶液堆積法