[12p-N301-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

△ [12p-N301-3] 正方晶(1-x)(Bi,Na)TiO₃- xBaTiO₃エピタキシャル膜の結晶構造及び電気的特性の組成依存性

〇(D)石濱 圭佑¹、清水 荘雄^1,2、佐藤 祐介³、山岡 和希子³、鶴丸 理沙子³、吉村 真太郎³、舟窪 浩¹ (1.東工大物院工、2.物・材機構、3.TDK株式会社)

キーワード：非鉛圧電材料、強誘電体、薄膜

近年、圧電センサ等の薄膜MEMS応用が注目される中、PZTに代表される有害な鉛系圧電材料の代替材料の開発が強く求められている。非鉛圧電材料である(Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃はMPB組成近傍でよく研究されてきたが、他組成での研究報告数は未だ少ない。今回我々は広い組成領域における (Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃エピタキシャル膜の作製に成功し、それぞれの膜において強誘電特性及び圧電特性を確認したためそれを報告する。