[12p-N301-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

[12p-N301-5] 分極軸配向正方晶PZTエピタキシャル膜の圧電評価

〇大越 春香¹、舘山 明紀¹、白石 貴久¹、江原 祥隆²、西田 謙²、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.防大)

キーワード：強誘電体薄膜