[12p-N301-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

[12p-N301-6] PZT人工超格子薄膜の作製とその圧電特性

〇(M1)木村 剛基¹、權 相曉¹、譚 賡²、神野 伊策¹ (1.神戸大工、2.大阪府大)

キーワード：圧電薄膜、超格子、PZT

本研究では、Zr/Ti組成の異なるPb(Zr, Ti)O₃(PZT)を用いて人工超格子薄膜の作製を行い、結晶構造と圧電特性を評価した。多元RFマグネトロンスパッタリング法を用いてシリコン基板上に001配向エピタキシャルPZT人工超格子薄膜を成膜した。PZT組成の組み合わせにより面内格子定数が変化し、それに伴い圧電特性が変化することが確認できた。