[12p-N305-1~14] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[12p-N305-11] NiO/β-Ga₂O₃ヘテロpn接合ダイオードの逆回復特性

〇中込 真二¹、矢野 浩司² (1.石巻専修大理工、2.山梨大工)

キーワード：酸化ガリウム、酸化ニッケル、ダイオード

我々はp形伝導性を示す数少ない酸化物半導体NiOに着目し、NiOとβ-Ga₂O₃からなるヘテロpn接合ダイオードの開発を行っている。本研究では同ダイオードのスイッチング応答特性を評価したので報告する。L負荷のダブルパルス試験によって逆回復特性を測定し、順方向電流を増加しても逆方向の回復電流の波形が殆ど変化していないことが分かった。