[12p-N402-1~10] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[12p-N402-9] REBCO自立超伝導膜を目指した水溶性NaCl基板上へのAuバッファ層の作製

〇一野 祐亮¹、曽根 功起¹、宮野 泰成¹、清家 善之¹、森 竜雄¹ (1.愛工大)

キーワード：REBCO超伝導体、自立薄膜

これまで、酸化物エネルギー材料への新規機能性付与の基礎検討として、水溶性のSr₃Al₂O₆ (SAO)を犠牲層として単結晶基板上にSmBa₂Cu₃O_y (SmBCO)超伝導薄膜を成膜しSmBCO層の剥離を試みてきた。しかし、SAO犠牲層の膜厚が増すほどAlとBaの反応相が増加し、SmBCOの成長が困難になる傾向が得られた[1]。そこで、水溶性のNaCl(100)単結晶基板上にREBCO膜をエピ成長させる検討を行っている。
NaCl基板上に直接YBCOを成膜したところ、YBCO膜を得ることができなかった。そこで、NaCl上にバッファ層としてAuを成膜し、その上にYBCO膜を成膜し、配向方位と基板からの剥離実験を行ったので報告する。