[12p-N406-1~12] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

△ [12p-N406-8] Bi援用相互拡散法による通信波長帯単一光子発生に向けたInAs量子ドットの低密度化

〇金木 潔良¹、赤羽 浩一²、前田 智弘¹、外林 秀之¹ (1.青学大理工、2.情通機構)

キーワード：単一光子、量子ドット、半導体

通信波長帯における理想的な単一光子源を実現するため、本研究ではS-Kモードによる自己組織化InAs量子ドットの低密度化に関して検討を行った。さらに、フォトリソグラフィーとエッチングによる量子ドットの数量制御の検討を行ったのでこれを報告する。