[13a-N105-1~11] 3.9 テラヘルツ全般

[13a-N105-4] Circular SARを用いたテラヘルツレーダー画像の高分解能化

〇工藤 美実¹、田中 稔久¹、瀧川 雄一¹ (1.(株)ニコン)

キーワード：テラヘルツ、合成開口レーダー

従来のSARでは1軸をFrequency modulated-continuous wave (FMCW) 技術，それに直交した軸は直線スキャンによる合成開口技術を利用して2次元高分解能画像を取得する．FMCW方向の空間分解能は光速と周波数変調幅で律速されるため，中心周波数が0.3 THzの場合，数mmが限界となる．一方で，一般的な非破壊検査の対象となる欠陥や異物はmmオーダー以下であることから，検査装置には数100 um以下の空間分解能が要求される．本研究では円形スキャンを行うCircular SAR (CSAR) を用いて高分解能化を検討し実証実験を行った．