[13a-N207-1~11] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

△ [13a-N207-9] 伸縮性透明電極のレーザーアブレーションと高解像度容量型センサ応用

〇(B)佐藤 俊¹、志村 宗彦¹、山下 薫¹、阿部 秀真¹、冨永 泰三¹、芦沢 実²、石黒 仁揮¹、松久 直司^1,3 (1.慶大理工、2.東工大工、3.JSTさきがけ)

キーワード：ストレッチャブルエレクトロニクス、センサ、レーザ

UVレーザアブレーション法を用い，伸縮性透明導電性高分子材料を，電気・機械特性の劣化なく数十µmもの高解像度でパターニングすることに成功した．さらに薄膜の伸縮性絶縁膜と集積化し，容量型の歪センサとタッチセンサを作製した．歪センサは100％もの大変形に対しても線形応答を示し，タッチセンサは十分な容量変化を示した．作製したセンサは次世代ヒューマンコンピュータインターフェースとしての活用が期待される．