[13a-N302-1~10] 12.1 作製・構造制御

[13a-N302-3] 静電スプレー法による有機半導体のエッチングプロセスの検討

〇蛭田 紗佳¹、小林 雅季¹、溝口 嶺¹、柏崎 正篤¹、小野島 紀夫¹ (1.山梨大工)

キーワード：有機トランジスタ、エッチング

静電スプレー堆積法を用いてTIPS pentacene/PMMAブレンド膜を堆積し，良好なトランジスタ特性が得られることを報告しているが，さらなる特性向上のためには，キャリア移動度を低下させる要因である寄生抵抗の低減が重要である．そこで今回，静電スプレー法を用いてTIPS pentaceneを部分的にエッチングすることを試みた．その結果，静電スプレーの条件によりエッチング速度の制御が可能であることがわかった．