2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学

[13a-N324-1~9] 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学

2021年9月13日(月) 09:00 〜 11:30 N324 (口頭)

笹木 敬司(北大)、八井 崇(豊橋技科大)

10:45 〜 11:00

[13a-N324-7] 酸化物半導体ナノ粒子薄膜における表面プラズモンの機械的制御:応力センシングに向けた動作原理

松井 裕章1、依田 秀彦2、小埜 洋輔3、三角 哲平4、藤田 明希4、百瀬 晶5、田畑 仁1 (1.東京大学、2.宇都宮大学、3.Attract to Japan、4.科技研、5.KISTEC)

キーワード:酸化物半導体ナノ粒子、表面プラズモン、応力センシング

本研究では、大きな歪み領域の応力計測や可視化技術に向けて、酸化物半導体ナノ粒子の表面プラズモンの力学場制御による革新的な応力センシングを開発する。本成果から、試料への歪み導入に伴い試料面内に発生した異方的なクラックの形成及びそれに伴う1次元的なドメイン構造が形成された。それは、ナノ粒子薄膜の集団的な機械的特性に関係し、それは集団的な電子応答(表面プラズモン)に影響を与え試料内に発生する応力状態の検出を可能にした。