[13a-S201-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[13a-S201-3] サファイア基板上ZnO薄膜の高温アニールによる構造変化

〇前島 圭剛¹、南園 佑真¹ (1.鹿大院理工)

キーワード：酸化亜鉛、アニール

サファイア基板上酸化亜鉛（ZnO/Al₂O₃）の高温成膜においては、ZnOとAl₂O₃の反応が起こる可能性があり、ZnO/Al₂O₃のアニールでアルミン酸亜鉛（ZnAl₂O₄）が形成されることが知られている。本研究では、ZnO/Al₂O₃を高温でアニールすることにより、どのようにZnAl₂O₄の形成などの変化が起こるかを評価した。