[13p-N101-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-N101-12] アンモニアフリー高温有機金属気相成長法で成長したAlNヘテロエピタキシャル薄膜中の微細構造評価

〇沈 旭強¹、松畑 洋文¹、児島 一聡¹ (1.産総研)

キーワード：窒化アルミニウム

我々は環境に優しい高温成長可能なアンモニアフリー高温有機金属気相成長法(AFHT-MOVPE)を開発した。今回、この成長法で成長したAlN薄膜中の微細構造を評価したので、その結果を報告する。