[13p-N301-1~18] 6.6 プローブ顕微鏡

[13p-N301-7] 走査型熱振動顕微鏡法によるparylene膜下に埋もれたナノ粒子の可視化

〇船戸 開¹、木村 邦子¹、小林 圭¹、山田 啓史¹ (1.京大工)

キーワード：原子間力顕微鏡